ایسنا، لیتوگرافی یکی از مهم‌ترین فرآیندهای ساخت ادوات نیمه هادی به شمار می‌رود و در آن ابتدا طرحی از یک الگو بر روی ماسک تشکیل و سپس آن طرح به ماده دلخواه جهت تولید محصول مورد نظر منتقل می‌شود. با کمک این روش می‌توان ساختارهایی با دقت و ابعاد نانومتری ساخت.
فرآیند لیتوگرافی تا پیش از این یکی از مهم‌ترین گلوگاه‌ها در ساخت ادوات نیمه هادی در ایران بوده، اما در سال‌های اخیر یکی از شرکت‌های دانش بنیان مستقر در پارک فناوری تهران محصولات متنوعی برای انجام فرآیند لیتوگرافی نوری تولید کرده است.
امروزه با رشد صنعت میکرو و نانوالکترونیک، ابعاد اجزا در این سیستم‌ها و به خصوص در مدارهای میکروالکترونیک به طور مداوم در حال کوچک شدن است و این پدیده مزایایی چون کاهش مصرف مواد اولیه و انرژی، کاهش قیمت تمام شده قطعات و مینیاتوریزه کردن قطعات را در پی داشته باشد. دستگاه نیمه اتوماتیک لیتوگرافی کامل این شرکت می‌تواند به محققان و شرکت‌های داخلی در توسعه این نوع قطعات کمک شایانی کند.
بر اساس اعلام ستاد نانو، این دستگاه علاوه‌بر ساخت نمونه صنعتی نیمه اتوماتیک، به صورت رومیزی نیز عرضه شده است.
انتهای پیام
